Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 61 Автор(ы) : Вопилкин Е. А., Шашкин В. И., Дроздов Ю. Н., Данильцев В. М., Гусев С. А. , Шулешова И. Ю. Заглавие : Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 51 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): биморф--пьезодвигатель--микроконсоль Доп.точки доступа: Вопилкин, Е. А.; Шашкин, В. И.; Дроздов, Ю. Н.; Данильцев, В. М.; Гусев, С. А. ; Шулешова, И. Ю.