Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Локтев Д. В., Андреев В. М., Зиновьев Д. В., Тузовский К. А., Шишкова И. Н. Заглавие : Исследование теплопроводности плотных газов в микросистемах Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 29-31: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 31 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микронагреватель--терморезистор--мэмс Доп.точки доступа: Локтев, Д. В.; Андреев, В. М.; Зиновьев, Д. В.; Тузовский, К. А.; Шишкова, И. Н.