Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Э 45 Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Резниченко Г. М., Жуков А. А., Жукова С. А., Гринькин Е. А. Заглавие : Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нэмс--сенсорные мэмс--актюаторы Доп.точки доступа: Бабаевский, П. Г.; Резниченко, Г. М.; Жуков, А. А.; Жукова, С. А.; Гринькин, Е. А.