Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 76 Автор(ы) : Гавриленко В., Новиков Ю., Озерин Ю., Раков А., Тодуа П. Заглавие : Российский прототип международного тест-объекта нанорельефа для РЭМ и АСМ Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 6. - С. 22-26: рис. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 Примечания : Библиогр. : с. 26 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Доп.точки доступа: Гавриленко, В.; Новиков, Ю.; Озерин, Ю.; Раков, А.; Тодуа, П.