Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 92 Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П. Заглавие : Упругие элементы в микроэлектромеханических системах Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22: рис. Примечания : Библиогр. : с. 21 (16 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ФИЗИКА Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы (мэмс)--плоскопараллельная конструктивная схема--роторы постоянного и ступенчатого сечения--опоры--активные силы--реактивные силы--упругие элементы--формулы упргугих линий Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами. Доп.точки доступа: Ефремов, Г. И.; Жвавый, С. П.