Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Э 45 Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Резниченко Г. М., Жуков А. А., Жукова С. А., Гринькин Е. А. Заглавие : Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37: рис. Примечания : Библиогр. : с. 37 (25 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ФИЗИКА Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсорные мэмс--нэмс--электромеханические преобразователи--детекторы--физические основы--масштабные эффекты--чувствительность--разрешающая способность--шумы--спектральная плотность флуктуаций Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем. Доп.точки доступа: Бабаевский, П. Г.; Резниченко, Г. М.; Жуков , А. А.; Жукова, С. А.; Гринькин, Е. А.