Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/М 91 Автор(ы) : Мустафаев Г. А., Мустафаев А. Г. Заглавие : Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 30-32: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 32 (6 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): канавка--травление Доп.точки доступа: Мустафаев, А. Г.