Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/В 74 Автор(ы) : Вопилкина Е. А. Заглавие : Возможности микроэлектромеханических систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 47-50: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 50 (5 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наногироскоп--акселерометр