Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 53/У 59 Автор(ы) : Дюжев Н. А., Поправкин А. Н., Шкуропат И. Г., Шокин А. Н., Попков А. Ф. Заглавие : Универсальный термочувствительный элемент для датчиков газового потока Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 23-25: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 25 (4 назв.) ББК : 53 Предметные рубрики: ФИЗИКА Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микротермоанемометр--расходометрия--кремниевая технология--датчики расхода газа Доп.точки доступа: Дюжев, Н. А.; Поправкин, А. Н.; Шкуропат , И. Г.; Шокин, А. Н.; Попков, А. Ф.