Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 53/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А. Заглавие : Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 38 (12 назв.) ББК : 53 Предметные рубрики: ФИЗИКА Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленоченые микроэлектромеханические системы (тмэмс)--тонкопленоченые тензорезисторные мэмс (ттмэмс)--тонкопленоченые емкостные мэмс (темэмс)--обобщенная системная модель Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.; Васильев , В. А.