Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Э 47 Автор(ы) : Швец В. А., Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Михайлов Н. Н. Заглавие : Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 106-118: ил. Примечания : Библиогр. : с. 117-118 (65 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): прецизионный метод--тонкопленочные структуры--оптическая эллипсометрия Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Швец, В. А.; Спесивцев, Е. В.; Рыхлицкий, С. В.; Михайлов, Н. Н.