Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/И 88 Автор(ы) : Ковалевский А. А., Строгова А. С., Плякин Д. В., Борисевич В. М. Заглавие : Исслелование самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 4. - С. 14-19: ил. Примечания : Библиогр. : с. 19 (12 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанокластеры--пленка--поликристаллический кремний--германий Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Плякин, Д. В.; Борисевич, В. М.