Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Е 30 Автор(ы) : Егоров В. В. Заглавие : Влияние микронеровностей поверхности на характеристики изображений в оптических прецизионных измерителях. Скалярное приближение. Часть II Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 4. - С. 26-31: ил. Примечания : Библиогр. : с. 31 (3 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): граничное поле--рассеянное поле Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН