Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/О-42 Автор(ы) : Одиноков В., Бараник Ю., Рагузин В. Заглавие : Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов Место публикации : Наноиндустрия. - 2009. - № 3. - С. 4-8: ил. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 Примечания : ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вакуумное оборудование--тонкие пленки--плазмохимическое травление Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Бараник, Ю.; Рагузин, В.