Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/A 31 Автор(ы) : Кравченко Д., Буздуган А., Кравченко А., Тузовский В. Заглавие : ALD - оборудование и технологии компании BENEQ OY - от инновации к внедрению Место публикации : Наноиндустрия. - 2009. - № 3. - 10-12: ил. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): молекулярная сборка--сверхтонкие пленки--микроэлектроника Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Кравченко, Д.; Буздуган, А.; Кравченко, А.; Тузовский, В.