Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/О-39 Автор(ы) : Огородникова О. М., Панин О. А. Заглавие : Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 12-15: ил. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 15 (7 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микрооптоэлектромеханическая система--компьютерное моделирование--микрозеркало--термический акюатор Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Панин, О. А.