Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/К 63 Автор(ы) : Заблоцкий А. В., Батурин А. С., Шешин Е. П., Бормашов В. С., Нагирный В. П., Коростылев Е. В. Заглавие : Компьютерное моделирование средств измерений в нанометрологии Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 2-6: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 6 (6 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): асм--рэм--нанометрология Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Заблоцкий, А. В.; Батурин, А. С.; Шешин, Е. П.; Бормашов, В. С.; Нагирный, В. П.; Коростылев, Е. В.