Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/К 89 Автор(ы) : Кузнецова М. А., Лучинин В. В., Савенко А. Ю. Заглавие : Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 24-32: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 32 (8 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионно-лучевое травление--осаждение--ионный пучок Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Лучинин, В. В.; Савенко, А. Ю.