Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/С 25 Автор(ы) : Обижаев Д. Ю., Жукова С. А., Бабаевский П. Г., Четверов Ю. С. Заглавие : Свойства и структура нанотолщинных слоев нитрида кремния, формируемых на поверхности полиимида низкотемпературным плазмохимическим синтезом Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 14-20: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 20 (19 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Обижаев, Д. Ю.; Жукова, С. А.; Бабаевский, П. Г.; Четверов, Ю. С.