Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/С 72 Автор(ы) : Спирин В. Г. Заглавие : Анализ технологических погрешностей сопротивления тонкопленочного резистора Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 42-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 45 (12 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН