Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А. Заглавие : Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 39 (10 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: МЕХАНИКА Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.; Васильев, В. А.