Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/П 76 Автор(ы) : Заболоцкий А. В., Мелентьев П. Н., Шешин Е. П., Батурин А. С., Балыкин В. И., Коростылев Е. В., Лапшин Д. А., Кузин А. А. Заглавие : Применение виртуального растрового электронного микроскопа для определения диаметра проецирующей микролинзы атомного нанолитографа Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 2-7: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 7 (15 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ФИЗИКА Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Заболоцкий, А. В.; Мелентьев, П. Н.; Шешин, Е. П.; Батурин, А. С.; Балыкин, В. И.; Коростылев, Е. В.; Лапшин, Д. А.; Кузин, А. А.