Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Р 24 Автор(ы) : Годовицын И. В., Сайкин Д. А., Федоров Р. А., Амеличев В. В., Мальцев П. П. Заглавие : Расчет параметров тестовой структуры МЭМС-акселерометра, изготовленного с использованием КНИ-пластин Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 12. - С. 39-45: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 45 (10 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Годовицын, И. В.; Сайкин, Д. А.; Федоров, Р. А.; Амеличев, В. В.; Мальцев, П. П.