Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/М 92 Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П. Заглавие : Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 15 (12 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ефремов, Г. И.; Жвавый, С. П.