Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Т 21 Автор(ы) : Тарнавский Г. А. Заглавие : Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 21-24. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 24 (7 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: МАТЕМАТИКА-- ТЕОРИЯ ВЕРОЯТНОСТЕЙ И МАТЕМАТИЧЕСКАЯ СТАТИСТИКА Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН