Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/А 19 Автор(ы) : Аверин И. А., Аношкин Ю. В., Печерская Р. М. Заглавие : Исследование поверхностей слоев резистивных структур на низкоразмерном уровне Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 25-26. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 26 (4 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Аношкин, Ю. В.; Печерская, Р. М.