Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 26 Автор(ы) : Игнатьева Е. В., Михайлов Ю. А., Тимошенков С. П. Заглавие : О проектировании мембраны с жестким центром кристаллов кремниевых тензопреобразователей на давления от 0,025 до 25 МПа Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 24-31: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 31 (12 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензопреобразователь давления кремниевый--кристалл ипд--мембрана с жестким центром Аннотация: Представлена методика проектирования мембраны с жестким центром кремниевых тензопреобразователей давления. Показано, что при заданных изменениях выходного напряжения и нелинейности менее 0,2 % диапазон давлений 0,025...25 МПа реализуем на кристалле 4 x 4 мм при использовании мембран двух размеров, имеющих прямоугольный жесткий центр Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Михайлов, Ю. А.; Тимошенков, С. П.