Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 74 Автор(ы) : Мокров Е. А., Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Заглавие : Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 31-36: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 36 (8 наим.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): системы тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические--диэлектрик деформируемый Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком с планарными и цилиндрическими электродами. Определены оптимальные соотношения их основных элементов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белозубов, Е. М.; Белозубова, Н. Е.