Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Л 87 Автор(ы) : Лучинин В. В., Усикова М. А. Заглавие : Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 3. - С. 31-43: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 43 ( 8 наим.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): схема интегральная--препарирование--травление--кристалл Аннотация: Внедрение процесса реинжиниринга в современную электронную промышленность предполагает разработку новых методик исследования объектов микротехники, а значит, применения новых технологических и аналитических методов препарирования в целях контроля топологии исследуемых систем. В работе наряду с разрушающими методами препарирования, такими как механическое вскрытие изделий микротехники с последующим удалением структурообразующих слоев, рассмотрены неразрушающие методы исследования с возможностью сохранения работоспособности системы для дальнейшего электрического анализа Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Усикова, М. А.