Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 51 Автор(ы) : Смолин В. К. Заглавие : Использование жидкого азота в процессах формирования элементов микроэлектронных структур Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 34-36. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 36 (19 наим.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): обработка низкотемпературная--модификация материалов--гетероструктура Аннотация: ?? ?? Рассмотрены вопросы, связанные с применением низкотемпературной обработки в технологических процессах формирования элементов микроэлектронных структур. Показана эффективность обработки в жидком азоте при циклическом воздействии ?? Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН