Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М. Заглавие : Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 48-53: рис. Примечания : Библиогр. : с. 53 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): системы тонкопленочные микроэлектромеханические--диэлектрик монолитный Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком. Показаны преимущества и недостатки различных вариантов построения таких систем Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН