Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 38 Автор(ы) : Белоус А. И., Гасенкова И. В., Дрозд С. Е., Коннов Е. В., Мухуров Н. И., Белоус В. А. Заглавие : Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 6 (6 наим.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчики микроэлектромеханические--конструкция и технология построения--преобразователь емкость-напряжение Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белоус, А. И.; Гасенкова, И. В.; Дрозд, С. Е.; Коннов, Е. В.; Мухуров, Н. И.; Белоус, В. А.