Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Д 72 Автор(ы) : Драгунов В. П., Остертак Д. И. Заглавие : Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть ii. расчет электростатических сил Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 40-47: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 47 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--емкость электрическая--конденсатор плоский--эффекты краевые Аннотация: Проводится сравнение различных подходов к оценке компонент электростатических сил, действующих между электродами плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых электрода. Приводятся аналитические выражения для расчета компонент электростатических сил. Рассчитываются погрешности в оценках компонент электростатических сил, действующих на электроды конденсаторов при изменении межэлектродного зазора и площади перекрытия электродов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Остертак, Д. И.