Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 51 Автор(ы) : Смолин В. К. Заглавие : Тонкопленочные резистивные элементы первичных преобразователей датчиков Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 16-23: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 23 (53 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): регистор--пленки тонкие--технология формирования--преобразователи первичные Аннотация: Дан обзор конструкторско-технологических особенностей выполнения элементов первичных преобразователей датчиков различного функционального назначения, использующих в качестве чувствительных элементов тонкопленочные резисторы Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН