Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 32 Автор(ы) : Пивоненков Б. И. Заглавие : Новый класс пьезорезистивных микро- и наносенсоров Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 38-47: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 47 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсор механических величин--сенсор пьезорезистивный--элемент чувствительный Аннотация: Предложен новый класс пьезорезистивных сенсоров, обладающих гораздо более высокими характеристиками по сравнению с существующими при более простой технологии их изготовления, описаны конструктивные решения сенсоров нового типа, представлены результаты расчета их характеристик в "объемном" и "планарном" исполнении. Рассматриваемые сенсоры нового типа обеспечивают более высокие основные характеристики (включая возможность уменьшения размеров преобразователя до сотен микрометров), минимальный разброс чувствительности, более простую технологию изготовления и ее совместимость с технологией изготовления схем усиления и обработки сигнала Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН