Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ф 79 Автор(ы) : Бобринецкий И. И., Горшков К. В., Неволин В. К., Царик К. А. Заглавие : Формирование интегрированных наноразмерных графеновых структур при фокусированном ионном травлении Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5 , № 5-6 . - С. 66-70: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 70 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): структуры наноразмерные графеновые интегрированные--травление ионное фокусированное--технологии микроэлектронные--сужения квазиодномерные Аннотация: Разработаны ионно-пучковые методы формирования наноструктур в мультиграфеновых слоях, интегрированных с системой токоподводящих электродов в процессе групповых микроэлектронных технологий. Результаты демонстрируют возможность утонения структур до единиц графеновых слоев и формирования квазиодномерных сужений в них Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Бобринецкий , И. И.; Горшков, К. В.; Неволин, В. К.; Царик, К. А.