Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ИМПЛАНТАЦИЯ КРЕМНИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 54/Э 94
Автор(ы) : Зацепин Д. А., Курмаев Э. З., Шеин И. Р., Черкашенко В. М., Шамин С. Н., Чолах С. О.
Заглавие : Эффект больших доз в рентгеновских SiL2,3-эмиссионных спектрах при имплантации кремния ионами железа в стационарном режиме
Место публикации : Физика твердого тела. - 2007. - Т. 49, № 1. - С. 72-77: рис., табл. - ISSN 0367-3294. - ISSN 0367-3294
Примечания : Библиогр.: с. 77 (24 назв.)
ББК : 54
Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): рентгеновская эмиссионная спектроскопия--ионы железа--имплантация кремния--эффект больших доз
Аннотация: Методом рентгеновской SiL2,3-эмиссионной спектроскопии исследован эффект больших доз (ЭБД) вобразцах кремния с проводимостью p- и n-типа, имплантированных ионами Fe+ в стационарном сканирующем режиме. Выполнен анализ SiL-спектров посредством их сравнения со спектрами эталонов, проведено сопоставление с рентгеновскими спектральными данными по импульсной имплантации ионами Fe+, а также их моделирование методом молекулярной динамики и полнопотенциальным методом присоединенных плоских волн. Установлены особенности проявления ЭБД при стационарном режиме внедрения ионов Fe+ в полупроводниковую кристаллическую матрицу
Полный текст
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика