Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ИМПЛАНТАЦИЯ КРЕМНИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Э 94


   
    Эффект больших доз в рентгеновских SiL2,3-эмиссионных спектрах при имплантации кремния ионами железа в стационарном режиме [Текст] / Д. А. Зацепин, Э. З. Курмаев, И. Р. Шеин, В. М. Черкашенко, С. Н. Шамин, С. О. Чолах // Физика твердого тела. - 2007. - Т. 49, № 1. - С. 72-77 : рис., табл. - Библиогр.: с. 77 (24 назв.) . - ISSN 0367-3294
ББК 54
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- ИОНЫ ЖЕЛЕЗА -- ИМПЛАНТАЦИЯ КРЕМНИЯ -- ЭФФЕКТ БОЛЬШИХ ДОЗ
Аннотация: Методом рентгеновской SiL2,3-эмиссионной спектроскопии исследован эффект больших доз (ЭБД) вобразцах кремния с проводимостью p- и n-типа, имплантированных ионами Fe+ в стационарном сканирующем режиме. Выполнен анализ SiL-спектров посредством их сравнения со спектрами эталонов, проведено сопоставление с рентгеновскими спектральными данными по импульсной имплантации ионами Fe+, а также их моделирование методом молекулярной динамики и полнопотенциальным методом присоединенных плоских волн. Установлены особенности проявления ЭБД при стационарном режиме внедрения ионов Fe+ в полупроводниковую кристаллическую матрицу

Полный текст
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика