Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   О-75

   
    Особенности стационарной имплантации кристаллического кремния молекулярным кислородно-азотным пучком: рентгеновские Si L2,3-эмиссионные спектры / Д. А. Зацепин, И. Р. Шеин, Э. З. Курмаев, В. М. Черкашенко, С. Н. Шамин, Н. А. Скориков, A. D. Yadav, S. K. Dubey // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, № 1. - С. 142-147 : граф. - Библиогр.: с. 147 (26 назв.) . - ISSN 0367-3294
ББК 54
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ -- РЕНТГЕНОВСКИЕ ЭМИССИОННЫЕ СПЕКТРЫ
Аннотация: Представлены результаты исследования локальной электронной структуры монокристаллических образцов кремния < 111> с проводимостью n-типа методом рентгеновской Si L2,3-эмиссионной спектроскопии. Образцы имплантировались ионизированным молекулярным пучком 16O+2 и 14N+2 (соотношение кислород--азот в молекулярном пучке 1 : 1, энергия имплантации 30 keV, дозы облучения от 2· 1017 до 1.5· 1018 cm-2, термический быстрый отжиг (rapid thermal annealing) образцов в азотной атмосфере после имплантации при 800oC в течение 5 min ) для формирования системы SixOyNz. Сравнение зарегистрированных Si L-спектров со спектрами эталонов позволило установить четкие корреляции между особенностями электронной структуры оксинитрида кремния, сформированного в результате имплантации, и дозами облучения. Показано, что при дозах имплантации 2· 1017 и 1· 1018 cm-2 преимущественно формируется Si3N4, в то время как при дозе 1.5· 1018 cm-2, в основном происходит образование слоев SiO2 в монокристаллическом кремнии. Обсуждаются наиболее вероятные причины и механизмы особенностей такого внедрения 16O+2 и 14N+2 в исследованные образцы. Полученные экспериментальные данные сравниваются с ab initio расчетами зонной структуры, выполненными методом FLAPW

Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика