Э 94 Эффект больших доз в рентгеновских SiL2,3-эмиссионных спектрах при имплантации кремния ионами железа в стационарном режиме [Текст] / Д. А. Зацепин, Э. З. Курмаев, И. Р. Шеин, В. М. Черкашенко, С. Н. Шамин, С. О. Чолах // Физика твердого тела. - 2007. - Т. 49, № 1. - С. 72-77 : рис., табл. - Библиогр.: с. 77 (24 назв.) . - ISSN 0367-3294 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕНТГЕНОВСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- ИОНЫ ЖЕЛЕЗА -- ИМПЛАНТАЦИЯ КРЕМНИЯ -- ЭФФЕКТ БОЛЬШИХ ДОЗ Аннотация: Методом рентгеновской SiL2,3-эмиссионной спектроскопии исследован эффект больших доз (ЭБД) вобразцах кремния с проводимостью p- и n-типа, имплантированных ионами Fe+ в стационарном сканирующем режиме. Выполнен анализ SiL-спектров посредством их сравнения со спектрами эталонов, проведено сопоставление с рентгеновскими спектральными данными по импульсной имплантации ионами Fe+, а также их моделирование методом молекулярной динамики и полнопотенциальным методом присоединенных плоских волн. Установлены особенности проявления ЭБД при стационарном режиме внедрения ионов Fe+ в полупроводниковую кристаллическую матрицу Полный текст |