Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИГД УрО РАН

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Гавриленко, В. П.$<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/К 17
Автор(ы) : Бодунов Д. С., Заблоцкий А. В., Гавриленко В. П., Кузин А. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н.
Заглавие : Калибровка просвечивающих электронных микроскопов с помощью ГСО 10030—2011
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 11-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 13 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроскоп просвечивающий электронный jem-2100 --калибровка--образец стандартный--неопределенность измерений при калибровке
Аннотация: Изложены результаты калибровки просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100 с помощью стандартного образца ГСО 10030—2011, разработанного и изготовленного в Научно-исследовательском центре по изучению свойств поверхности и вакуума, при номинальном значении увеличения 30 000 крат. Относительная расширенная (коэффициент охвата k = 2) неопределенность измерений при калибровке составила 0,5 %
Найти похожие

Вид документа :
Шифр издания : 620.3/Г 12
Автор(ы) : Гавриленко В. П., Тодуа П. А.
Заглавие : Нанометрология – ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 47-55: рис.
Примечания : Библиогр.: с. 55 (19 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанометрология --наночастиц--наноструктур--нанопокрытия--пленки--микроскопия атомно-силовая--методы спектроскопической эллипсометрии
Аннотация: Размерные параметры наночастиц, наноструктур, нанопокрытий являются определяющими в характеризации объектов нанотехнологий. Одно из важнейших направлений нанометрологии – обеспечение единства измерений в нано- и субнанометровом диапазонах. Представлены новые типы кремниевых тест-объектов, обеспечивающих прослеживаемость размерных измерений к единице длины в системе СИ методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии. Приведены результаты измерений толщин пленки окисла кремния методами спектроскопической эллипсометрии и просвечивающей электронной микроскопии. Рассмотрены метрологические аспекты стандартизации в нанотехнологиях
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 58
Автор(ы) : Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Шаронов В. А.
Заглавие : Влияние контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 1. - С. 2-5: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 5 (8 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): доза электронного облучения--элементы рельефные--контаминация--микроскоп низковольтный растровый электронный
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния контаминации в РЭМ S-4800 при энергии электронов 1 кэВ на профиль рельефных элементов меры МШПС-2.0К. Показано, что в результате электронного облучения увеличивается ширина нижнего основания рельефных элементов и получены зависимости ширины нижнего основания от дозы электронного облучения при разных режимах облучения. Приведены результаты влияния режима облучения на толщину контаминационной пленки
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 58
Автор(ы) : Гавриленко В. П., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Шаронов В. А.
Заглавие : Влияние контаминации в РЭМ на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 2-6: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 6 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния контаминации в РЭМ S-4800 на профиль рельефных элементов меры нанометрового диапазона МШПС-2.0К. Показано, что в результате электронного облучения изменяется форма профиля рельефных элементов, представлены зависимости их параметров от дозы электронного облучения для разных режимов облучения
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Э 47
Автор(ы) : Гавриленко В. П., Зайцев С. А., Кузин А. Ю., Новиков Ю. А., Раков А. В., Тодуа П. А.
Заглавие : Эллипсометрическая характеризация структур Si-SiO2
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 42-45: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 45 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Рассмотрены диагностические возможности метода эллипсометрии в применении к системе, представляющей собой пленку оксида кремния на кремнии, широко используемой в наноэлектронике. Для конкретных образцов, содержащих пленку оксида кремния на поверхности кремниевой подложки, определены с высокой точностью все основные параметры пленки и подложки: толщина пленки, показатели преломления пленки и подложки, коэффициент поглощения подложки. Экспериментально показано, что с помощью метода эллипсометрии можно контролировать наличие (или отсутствие) дополнительного переходного слоя между пленкой и подложкой
Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)