Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   М 33

    Матвеенко , О. С.
    Интегрированные антенны на наногетероструктурах арсенида галлия / О. С. Матвеенко , Д. Л. Гнатюк, Р. Р. Галиев // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 50-51 : рис. - Библиогр. : с. 51 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РНЕМТ -- ЯМА КВАНТОВАЯ -- АНТЕННА -- УСИЛИТЕЛЬ МАЛОШУМЯЩИЙ
Аннотация: В настоящее время наблюдается ускоренное развитие исследований и разработок с технологическим освоением производства малогабаритных СВЧ приборов на основе интегральных активных антенных элементов. Данные устройства лежат в основе систем передачи данных, навигации, связи, а также позволяют создавать разнообразные миниатюрные сенсоры и датчики для систем охранной сигнализации, определения положения и скорости перемещения объектов и т. д. Настоящая работа посвящена разработке активных антенных элементов со встроенными малошумящими усилителями для частот 5 ГГц и 10...12 ГГц на основе РНЕМТ гетероструктуры с квантовой ямой типа АlGаА/InGаАs/GаА

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   М 33

    Матвеенко , О. С.
    Нано- и микросистемы для мониторинга параметров движения транспортных средств / О. С. Матвеенко , Д. Л. Гнатюк, Р. Р. Галиев // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 48-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК МАГНИТНЫЙ -- МАГНИТОРЕЗИСТОР -- АМР
Аннотация: Рассматривается возможность применения МЭМС- и НЭМС-структур для мониторинга параметров движения транспортных средств. Описаны конструкции магнитнорезистивных датчиков, а также магнитные датчики, сопряженные с aкселерометрaми

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   А 44


    Акустоэлектронные датчики силы в системах безопасности гидроагрегатов гэс / А. Т. Галисултанов, С. В. Дзюбаненко, В. С. Игнатьев, Д. М. Силаков, В. А. Калинин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 24-28 : рис., табл. - Библиогр.: с. 28 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АКУСТОЭЛЕКТРОНИКА -- ПАВ-РЕЗОНАТОР -- ДАТЧИК СИЛЫ -- ГИДРОЭЛЕКТРОСТАНЦИЯ
Аннотация: Разработан акустоэлектронный датчик силы, предназначенный для контроля силовых воздействий на анкерные сваи и шпильки креплений крышек турбин гидроэлектростанций. Использование пьезоэлектрических чувствительных элементов позволяет улучшить точностные и эксплуатационные характеристики. Система контроля динамического состояния силоизмерительных шайб (СКДС-СИШ), построенная на этих датчиках, дает возможность осуществлять непрерывный контроль нагрузок, что повышает безопасность сложных технических объектов

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   И 96

    Ичкитидзе, Л. П.
    Топологический наноструктурированный пленочный сверхпроводниковый трансформатор магнитного потока / Л. П. Ичкитидзе, А. Н. Миронюк // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 47-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ -- ПОЛЕ МАГНИТНОЕ -- ПЛЕНКИ СВЕРХПРОВОДЯЩИЕ -- ТРАНСФОРМАТОР МАГНИТНОГО ПОТОКА -- НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ ТОПОЛОГИЧЕСКОЕ
Аннотация: Рассматривается пленочный сверхпроводниковый трансформатор магнитного потока в форме квадратообразного кольца со суженной активной полосой. Активная полоса трансформатора магнитного потока перекрывает сверху пленочный магниточувствительный элемент с гигантским магнитосопротивлением, отделенный с помощью толкующей пленки. Показано, что топологическое наноструктурирование активной полосы трансформатора магнитного потока повышает его фактор умножения на порядок и более, т. е. повышается его эффективность, что приводит к значительному росту положительных показателей датчика магнитного поля

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   М 59


    Микросистема контроля двух компонент вектора магнитной индукции на основе наноразмерных магниторезистивных структур / В. В. Амеличев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 33-35 : рис., табл. - Библиогр. : с. 35 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АНИЗОТРОПНЫЕ МАГНИТОРЕЗИСТОРЫ -- МОСТ УИТСТОНА -- РАЗБАЛАНС НАПРЯЖЕНИЙ
Аннотация: Изготовлены и исследованы двухкоординатные датчики магнитного поля с использованием анизотропных магниторезисторов с полюсом барбера в двух вариантах топологии. Установлено, что распределение магнетосопротивлений по пластине влияет на разбаланс выходных напряжений моста Уитстона и мало влияет на чувствительность. Компактное топологическое расположение магнетосопротивлений уменьшает разбаланс мостов Уитстона

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   П 77

    Прищепов, С. К.
    Интегральные и гибридные технологии производства феррозондовых датчиков / С. К. Прищепов, К. И. Власкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 2-4 : рис. - Библиогр. : с. 4 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ ФЕРРОЗОНДОВЫЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ -- ДИАГРАММА НАПРАВЛЕННОСТИ ДАТЧИКА
Аннотация: Рассмотрены методы минимизации основной погрешности направленности дифференциальных феррозондов углового смещения физической оси чувствительности относительно геометрической. Определены принципы совмещения обмоток и магнитопроводов феррозондов для выполнения прецизионных чувствительных элементов модульного типа. Представлены особенности гибридных и интегральных технологий изготовления феррозондовых датчиков

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белозубов, Е. М.
    Повышение временной стабильности датчиков давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 31-38 : рис. - Библиогр. : с. 38 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НИМЭМС -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СТАБИЛЬНОСТЬ -- ТЕМПЕРАТУРА -- КРИТЕРИЙ -- ДЕФОРМАЦИЯ
Аннотация: Рассмотрена временная стабильность датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС), выработаны условия и критерии временной стабильности. Предложен структурно-факторный метод повышения временной стабильности НиМЭМС. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных условий и критериев временной стабильности НиМЭМС

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белозубов, Е. М.
    Совершенствование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 27-33 : рис. - Библиогр. : с. 33 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- НИМЭМС -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ
Аннотация: Рассмотрены возможности улучшения характеристик тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков на их основе в условиях воздействия нестационарных температур

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   В 19

    Васильев , В. А.
    Датчики давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур / В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 19-24 : рис. - Библиогр. : с. 24 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕМПЕРАТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЧАСТОТНЫЕ
Аннотация: Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей

Найти похожие

10.

Инвентарный номер: нет.

   Д 20


    Датчики пожарных извещателей на основе низкоэнергопотребляюших газовых сенсоров для раннего предупреждения возгораний / И. А. Таратын, И. В. Сердюк, М. С. Смирнов, А. П. Гринчук // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 28-32 : рис., табл. - Библиогр.: с. 32 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ОКСИД АЛЮМИНИЯ -- СТАНЦИЯ ГАЗОВАЯ -- МОДУЛЬ СЕНСОРНЫЙ ГАЗОВЫЙ
Аннотация: Дано описание датчика пожарного извещателя на основе газового сенсора, изготовленного по групповой микроэлектронной технологии. Описан принцип работы полупроводникового сенсора. Приведены результаты испытаний датчиков на газоаналитическом комплексе ОАО "Авангард"

Найти похожие

11.

Инвентарный номер: нет.

   Ч-40

    Челпанов, И. Б.
    Системно-ориентированная обработка результатов испытаний микроэлектронномеханических датчиков скоростей и ускорений / И. Б. Челпанов, А. В. Кочетков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 11-15 : табл., рис. - Библиогр.: с. 15 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ -- АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- ДАТЧИКИ СКОРОСТЕЙ И УСКОРЕНИЙ -- ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОННОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ГИРОСКОПЫ -- СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ
Аннотация: Рассматривается круг вопросов планирования, организации и проведения испытаний микромеханических датчиков и приборов, в том числе микромеханических гироскопов, входящих в состав навигационных систем и комплексов подвижных объектов

Найти похожие

12.

Инвентарный номер: нет.

   Г 21

    Гаршин, А. Я.
    Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией / А. Я. Гаршин, А. В. Тучин, Е. Н. Бормонтов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26 : рис., табл. - Библиогр.: с. 26 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- КОМПЕНСАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ
Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков

Найти похожие

13.

Инвентарный номер: нет.

   Д 20


    Датчики внешних воздействий с частотным выходом на основе полевого МДПДМ-транзистора со встроенным каналом / М. Л. Бараночников, А. В. Леонов, А. А. Малых, В. Н. Мордкович, В. Н. Мурашев, Д. М. Пажин // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 8-11. - Библиогр.: с. 11 (8 назв.) . -

УДК

621.317

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК -- ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ-ЧАСТОТА -- КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ
Аннотация: Показано, что полевой транзистор со встроенным каналом и управляющей системой типа металл — диэлектрик — полупроводник — диэлектрик — металл может функционировать как чувствительный элемент датчиков внешних воздействий (таких как магнитное поле, температура, радиация), преобразующих воздействия в цифровой сигнал. Датчик основан на принципе изменения частоты автогенератора, в схему которого в качестве нагрузки, изменяющейся при внешних воздействиях, включен упомянутый транзистор. В качестве основы автогенератора может быть использована как специальная ИС, так и эффект самовозбуждения в чувствительном элементе, благодаря особенностям его ВАХ на участке лавинного умножения. Датчики изготовлены по технологии кремний-на-изоляторе

Найти похожие

14.

Инвентарный номер: нет.

   Ч-40

    Челпанов, И. Б.
    Многоцелевые алгоритмы оценки составляющих сигналов микромеханических датчиков угловой скорости и акселерометров / И. Б. Челпанов, А. В. Кочетков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 2-7 : рис. - Библиогр.: с. 7 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- ДАТЧИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ -- MEMS -- ММГ -- ГИРОСКОПЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ
Аннотация: Рассматриваются вопросы планирования, организации и проведения испытаний микромеханических датчиков и приборов (MEMS), в первую очередь микромеханических гироскопов (ММГ), входящих в состав навигационных систем и комплексов подвижных объектов. Такие датчики именуются по принципу действия микромеханическими, микроэлектронно-механическими или микроэлектромеханическими

Найти похожие

15.

Инвентарный номер: нет.

   К 65


    Конструкция и технология создания матриц преобразователей давления для эндоскопических тактильных датчиков / В. В. Амеличев, В. М. Буданов , Д. В. Гусев, Ю. А. Михайлов, М. Э. Соколов , В. С. Суханов, Р. Д. Тихонов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 11. - С. 27-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ТАКТИЛЬНЫЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ
Аннотация: Разработана и исследована новая конструкция кристаллов матриц интегральных преобразователей давления МИПД-7для тактильных датчиков на основе плоских кремниевых мембран с тензорезистивными преобразователями. Тактильные датчики на основе МИПД-7 прошли полный цикл клинических испытаний в составе эндохирургической аппаратуры

Найти похожие

16.

Инвентарный номер: нет.

   Т 35


    Терморезисторные датчики измерения изменений уровня криогенных сред / И. И. Гончар, Л. Н. Киселев, А. Н. Михайлов, В. Г. Певгов, А. В. Семенов, В. А. Шубарев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 41-45 : табл., рис. - Библиогр.: с. 45 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ -- СЕНСОРЫ -- УРОВНЕМЕРЫ -- ДАТЧИКИ УРОВНЯ -- ВРЕМЯ ЗАДЕРЖКИ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ
Аннотация: Приведены результаты исследования изготовленных на тонких теплоизоляционных подложках по микроэлектронной технологии терморезисторных датчиков измерения уровня в криогенных средах

Найти похожие

17.

Инвентарный номер: нет.

   И 73


    Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров / В. В. Пинаев, В. С. Суханов, В. В. Панков, Ю. А. Михайлов, Н. Л. Данилова, С. Ю. Былинкин, А. А. Гаврилов, А. Н. Шипунов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41 : рис. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ ВРЕМЕННАЯ -- ИСПЫТАНИЯ НА БЕЗОТКАЗНОСТЬ
Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков

Найти похожие

18.

Инвентарный номер: нет.

   К 17

    Калинин, В. А.
    Пассивные датчики температуры на поверхностных акустических волнах для систем контроля состояния контактных групп высоковольтного оборудования / В. А. Калинин, В. В. Чащин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 10. - С. 42-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ ТЕМПЕРАТУРЫ -- МИКРОСИСТЕМОТЕХНИКА -- ЛАНГАСИТ -- ДАТЧИКИ АКУСТОЭЛЕКТРОННЫЕ -- ДАТЧИКИ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ -- ДАТЧИКИ ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЕ
Аннотация: Представлены результаты работ по созданию пассивных беспроводных датчиков температуры на поверхностных акустических волнах. Обоснована актуальность разработки. Описан принцип действия разрабатываемых датчиков. Приведены основные характеристики датчиков, результаты разработки конструкции термочувствительных элементов и преобразователей температуры, результаты испытаний. Обозначены приоритетные работы для последующих этапов разработки

Найти похожие

19.

Инвентарный номер: нет.

   М 69

    Михайлов, А. Н.
    Датчики деформации и системы мониторинга конструкционной безопасности зданий и сооружений / А. Н. Михайлов, В. Н. Косинский // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 50-53 : рис. - Библиогр.: с. 53 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОГРАММНОЕ -- ПП ИНДУКЦИОННЫЙ -- СИСТЕМА МОНИТОРИНГА КОНСТРУКЦИЙ -- ДАТЧИКИ
Аннотация: Показано применение технологии беспроводных систем мониторинга в области обеспечения конструкционной безопасности зданий и сооружений и представлена разработанная специалистами ОАО "Авангард" беспроводная система мониторинга деформации. Показана технология, обеспечивающая повышение комплексной безопасности зданий и сооружений через повышение информативности и надежности системы мониторинга деформации как одного из элементов комплексной безопасности. Рассматривается устройство вновь разрабатываемого в рамках программы Союзного государства "Микросистемотехника" индукционного первичного преобразователя для датчика деформации беспроводной системы мониторинга деформации

Найти похожие

20.

Инвентарный номер: нет.

   М 74


    Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 4-8 : рис. - Библиогр. : с. 8 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МЕТОД ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ -- ДАТЧИКИ-КАНТИЛЕВЕРЫ ЗОНДОВЫЕ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ РАСТЕКАНИЯ
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований по модификации зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) путем осаждения на поверхность балки кантилевера вольфрамового острия методом фокусированных ионных пучков (ФИП) с применением высокоселективной газовой химии. Показано, что полученные методом ФИП зонды длиной 5 мкм и радиусом закругления порядка 50 нм позволяют повысить точность измерений тестовых объектов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и модификации зондовых датчиков-кантилеверов АСМ, а также при исследовании структур микро-и наносистемной техники

Найти похожие

1-20 21-41 41-41

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)