Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (35)Публикации об УрО РАН (1)Изобретения уральских ученых (2)Гибель династии Романовых (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (7)Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН (10)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (4)Расплавы (3)Публикации Чарушина В.Н. (1)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (20)Библиометрия (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ЕФРЕМОВ<.>/(700))
Общее количество найденных документов : 14
Показаны документы с 1 по 14
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Е 92

    Ефремов, Г. И.
    Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР

Найти похожие
2.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15 : рис., табл. - Библиогр. : с. 15 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- МИКРОСКАНЕРЫ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИИ -- ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ

Найти похожие
3.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ
Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции

Найти похожие
4.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ
Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами.

Найти похожие
5.
Инвентарный номер: нет.
   
   Ф 94

    Мухуров, Н. И.
    Функциональные возможности электротоковых микрореле / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 39-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОТОКОВОЕ -- ТОК ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- СИЛЫ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ И РЕАКТИВНЫЕ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНО-ОБЪЕМНАЯ
Аннотация: Предложена конструкция и метод теоретического моделирования электротоковых микpоpеле с меандровыми токовыми участками при равенстве и неравенстве токов. Установлено, что базовая функция в нормированном виде графически представляет собой симметричную параболу с координатами экстремальной точки m0 =0,5 и I* = 0,5. Рассмотрена эффективность переключения векторов сил электромагнитных полей с притяжения при прямом ходе на отталкивание при обратном ходе, возможность использования емкостного оперативного контроля параметров

Найти похожие
6.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Электростатические микрокоммутаторы. Часть 1. Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 10. - С. 42-48. - Библиогр.: с. 48 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
621.382.049.77 + 531:546.621-31
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЕТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Применена методика расчета с учетом равенства активных электростатических и реактивных механических сил с разделением в рабочем цикле параметров на постоянные (конструктивная константа) и переменные (базовая функция) составляющие. Получены формулы эффективного вычисления основных параметров

Найти похожие
7.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Электростатические микрокоммутаторы. Часть 2. торсионные включаюшие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 39-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
621.382.049.77 + 531:546.621-31
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ТОРСИОННАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКТЮАТОРЫ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЁТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ
Аннотация: Проведены расчеты параметров включающих микрокоммутаторов торсионной конструкции. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров

Найти похожие
8.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Электростатические микрокоммутаторы. Часть 3. Переключающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 1. - С. 45-51. - Библиогр.: с. 51 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
621.382.049.77+531:546.621-31
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ПЕРЕКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ И ТОРСИОННАЯ КОНСТРУКЦИИ -- МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКТЮАТОРЫ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЁТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ -- ПРИМЕРЫ КОНСТРУКЦИЙ
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров переключающих микрокоммутаторов плоскопараллельной и торсионной конструкций. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров. Приведены примеры конструкций

Найти похожие
9.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 1. деформированный якорь / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 47-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ УПРУГИХ ЭЛЕМЕНТОВ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ И ОБЪЕМНАЯ
Аннотация: Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования упругих подвижных элементов. Исследованы варианты с упругодеформированным якорем в объемном и планарном конструктивном исполнении. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций

Найти похожие
10.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 2. деформированные держатели / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 25-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- КОНСТРУКЦИЯ ОБЪЕМНАЯ И ПЛАНАРНАЯ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ ДЕРЖАТЕЛЕЙ -- СИЛЫ МЕХАНИЧЕСКИЕ РЕАКТИВНЫЕ -- СИЛЫ ЭЛЕКТРОСТАТИСТИЧЕСКИЕ АКТИВНЫЕ
Аннотация: Исследованы варианты электростатических микрореле с упругодеформированными держателями в объемном и планарном конструктивном исполнении. Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования держателей. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций

Найти похожие
11.
Инвентарный номер: нет.
   
   П 37

   
    Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде / С. А. Пивоваренок [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 69-71 : рис. - Библиогр. : с. 71 (6 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ НАНОРАЗМЕРНОЕ GAAS -- ПЛАЗМА -- ХЛОР -- ХЛОРОВОДОРОД
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная плазма хлора и хлороводорода применяется в технологии микро- и наноэлектроники для очистки и «сухого» травления поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС. Одним из важных процессов здесь является формирование топологического рельефа на поверхности GaAs, который является одним из самых перспективных материалов электроники будущего. Причины этого заключаются в сочетании большой ширины запрещенной зоны и высокой подвижности носителей заряда, что позволяет создавать на основе GaAs широкий спектр высокочастотных быстродействующих приборов. Кроме этого, GaAs является основным материалом квантовой наноэлектроники на основе гетеропереходов в системе AlGaAs [1]

Найти похожие
12.
Инвентарный номер: нет.
   
   С 71

   
    Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в хлороводороде / А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, С. П. Капинос, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 93-95 : рис. - Библиогр.: с. 95 (5 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ -- КОНТРОЛЬ -- СПЕКТР -- ХЛОРОВОДОРОД -- ТРАВЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ -- АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
Аннотация: Было выполнено исследование спектров плазмохимического травления GaAs в HCl. На обзорных спектрах выбраны контрольные линии и полосы. На временных зависимостях интенсивности излучения продуктов травления (в частности, линии атомарного Ga) в начале процесса обработки наблюдается нестационарный участок продолжительностью около 1 мин. Соотношение интенсивности излучения продуктов и скорости травления носит прямопропорциональный характер. Это свидетельствует о возможности спектрального контроля процесса травления в реальном времени

Найти похожие
13.
Инвентарный номер: нет.
   
   Т 38

   
    Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях / А. М. Ефремов, В. И. Светцов, С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев // Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 77-81 : рис. - Библиогр. : с. 81 (3 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- СМЕСИ ГАЗОВЫЕ ХЛОРСОДЕРЖАЩИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО ИМС
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма (ННГП) в среде хлорсодержащих газов применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС в тех случаях, когда использование жидкостных методов ограничивается высокими требованиями к чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1, 2]. В качестве плазмообразующих сред традиционно использовались СС14, BCl3 и SiCl4, существенным недостатком которых является полимеризация и/или высаживание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала. Молекулярный хлор свободен от этих недостатков, однако его применение также осложнено рядом причин. Во-первых, это высокая коррозионная активность по отношению к конструкционным материалам технологического оборудования, неудобства хранения и транспортировки [1, 3]. Во-вторых, при характерных режимах работы промышленных плазмохимических реакторов ННГП в хлоре характеризуется высокими степенями диссоциации молекул CI2, что не позволяет достигать высокой анизотропии процесса. В то же время, последний параметр является актуальным при переходе к субмикронным технологиям в производстве ИМС

Найти похожие
14.
Инвентарный номер: 191863 - кх; 191864 - кх; 191865 - бр.ф.
   537
   Ф 50

   
    Физика экстремальных состояний вещества-2002 [] : сб.: Часть ст. XVII Междунар. конф. "Уравнения состояния вещества", (Эльбрус, 1-6 марта 2002) / РАН. Ин-т теплофизики экстрем. состояний, Ин-т проблем хим. физики и др., КБНЦ. НИИ прикладной математики и автоматизации; Ред. В. Е. Фортов и др. - Эльбрус : [б. и.], 2002. - 191 с. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-901675-06-1 : 30.00 р.
ББК 537.5я431(0) + 541.123я431(0)
РУБ 537
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО--КОНФЕРЕНЦИИ
   ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
Кл.слова (ненормированные):
ВЕЩЕСТВА (ЭКСТРЕМАЛЬНЫЕ СОСТОЯНИЯ) -- ВОЛНЫ УДАРНЫЕ (ТЕОРИИ) -- ГОРЕНИЕ (ТЕОРИИ) -- ДЕТОНАЦИИ (ХИМИЯ) -- ИЗЛУЧЕНИЯ ИОНИЗИРУЮЩИЕ (ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ С ВЕЩЕСТВАМИ) -- НАНОСТРУКТУРЫ (ТЕРМОДИНАМИКА) -- ПЛАЗМА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ (ФИЗИКА) -- СВЕРХПРОВОДИМОСТЬ (РАЗРУШЕНИЕ) -- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ (НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ)

Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика