Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (35)Публикации об УрО РАН (1)Изобретения уральских ученых (2)Гибель династии Романовых (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (7)Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН (10)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (4)Расплавы (3)Публикации Чарушина В.Н. (1)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (20)Библиометрия (1)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ЕФРЕМОВ<.>/(700))
Общее количество найденных документов : 14
Показаны документы с 1 по 14
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г.И., Жвавый С. П.
Заглавие : Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 2. деформированные держатели
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 25-28: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 28 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Исследованы варианты электростатических микрореле с упругодеформированными держателями в объемном и планарном конструктивном исполнении. Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования держателей. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г.И., Жвавый С. П.
Заглавие : Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 1. деформированный якорь
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 47-50: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 50 (9 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования упругих подвижных элементов. Исследованы варианты с упругодеформированным якорем в объемном и планарном конструктивном исполнении. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 37
Автор(ы) : Пивоваренок С. А., Дунаев А. В., Ефремов А. М., Светцов В. И.
Заглавие : Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 69-71: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 71 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная плазма хлора и хлороводорода применяется в технологии микро- и наноэлектроники для очистки и «сухого» травления поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС. Одним из важных процессов здесь является формирование топологического рельефа на поверхности GaAs, который является одним из самых перспективных материалов электроники будущего. Причины этого заключаются в сочетании большой ширины запрещенной зоны и высокой подвижности носителей заряда, что позволяет создавать на основе GaAs широкий спектр высокочастотных быстродействующих приборов. Кроме этого, GaAs является основным материалом квантовой наноэлектроники на основе гетеропереходов в системе AlGaAs [1]
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 71
Автор(ы) : Дунаев А. В., Пивоваренок С. А., Капинос С. П., Ефремов А. М., Светцов В. И.
Заглавие : Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в хлороводороде
Место публикации : Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 93-95: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 95 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травление--контроль --спектр--хлороводород--травление плазмохимическое--арсенид галлия
Аннотация: Было выполнено исследование спектров плазмохимического травления GaAs в HCl. На обзорных спектрах выбраны контрольные линии и полосы. На временных зависимостях интенсивности излучения продуктов травления (в частности, линии атомарного Ga) в начале процесса обработки наблюдается нестационарный участок продолжительностью около 1 мин. Соотношение интенсивности излучения продуктов и скорости травления носит прямопропорциональный характер. Это свидетельствует о возможности спектрального контроля процесса травления в реальном времени
Найти похожие
5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Электростатические микрокоммутаторы. Часть 3. Переключающие микрокоммутаторы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 1. - С. 45-51. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 51 (3 назв.)
УДК : 621.382.049.77+531:546.621-31
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электростатические переключающие микрокоммутаторы--плоскопараллельная и торсионная конструкции--механоэлектрические актюаторы--формулы расчёта основных параметров--примеры конструкций
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров переключающих микрокоммутаторов плоскопараллельной и торсионной конструкций. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров. Приведены примеры конструкций
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Электростатические микрокоммутаторы. Часть 2. торсионные включаюшие микрокоммутаторы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 39-43. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 43 (5 назв.)
УДК : 621.382.049.77 + 531:546.621-31
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электростатические включающие микрокоммутаторы--торсионная конструкция--механоэлектрические актюаторы--формулы расчёта основных параметров
Аннотация: Проведены расчеты параметров включающих микрокоммутаторов торсионной конструкции. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Электростатические микрокоммутаторы. Часть 1. Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 10. - С. 42-48. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 48 (14 назв.)
УДК : 621.382.049.77 + 531:546.621-31
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электростатические включающие микрокоммутаторы--плоскопараллельная конструкция--формулы расчета основных параметров
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Применена методика расчета с учетом равенства активных электростатических и реактивных механических сил с разделением в рабочем цикле параметров на постоянные (конструктивная константа) и переменные (базовая функция) составляющие. Получены формулы эффективного вычисления основных параметров
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 15 (12 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Упругие элементы в микроэлектромеханических системах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22: рис.
Примечания : Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы (мэмс)--плоскопараллельная конструктивная схема--роторы постоянного и ступенчатого сечения--опоры--активные силы--реактивные силы--упругие элементы--формулы упргугих линий
Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами.
Найти похожие
10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Е 92
Автор(ы) : Ефремов Г.И., Мухуров Н.И.
Заглавие : Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 44 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--трехэлектродная система--микроактюатор
Найти похожие
11.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Ф 94
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г.И., Жвавый С. П.
Заглавие : Функциональные возможности электротоковых микрореле
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 39-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 42 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Предложена конструкция и метод теоретического моделирования электротоковых микpоpеле с меандровыми токовыми участками при равенстве и неравенстве токов. Установлено, что базовая функция в нормированном виде графически представляет собой симметричную параболу с координатами экстремальной точки m0 =0,5 и I* = 0,5. Рассмотрена эффективность переключения векторов сил электромагнитных полей с притяжения при прямом ходе на отталкивание при обратном ходе, возможность использования емкостного оперативного контроля параметров
Найти похожие
12.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г.И., Жвавый С. П.
Заглавие : Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 23 (16 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроактюатор--напряжение--ток--заряд--конструкция планарная
Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции
Найти похожие
13.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 38
Автор(ы) : Ефремов А. М., Светцов В. И., Пивоваренок С. А., Дунаев А. В.
Заглавие : Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 77-81: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 81 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травления металлов и полупроводников--смеси газовые хлорсодержащие--производство имс
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма (ННГП) в среде хлорсодержащих газов применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС в тех случаях, когда использование жидкостных методов ограничивается высокими требованиями к чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1, 2]. В качестве плазмообразующих сред традиционно использовались СС14, BCl3 и SiCl4, существенным недостатком которых является полимеризация и/или высаживание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала. Молекулярный хлор свободен от этих недостатков, однако его применение также осложнено рядом причин. Во-первых, это высокая коррозионная активность по отношению к конструкционным материалам технологического оборудования, неудобства хранения и транспортировки [1, 3]. Во-вторых, при характерных режимах работы промышленных плазмохимических реакторов ННГП в хлоре характеризуется высокими степенями диссоциации молекул CI2, что не позволяет достигать высокой анизотропии процесса. В то же время, последний параметр является актуальным при переходе к субмикронным технологиям в производстве ИМС
Найти похожие
14.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Ф 50
Заглавие : Физика экстремальных состояний вещества-2002 : Сб.: Часть ст. XVII Междунар. конф. "Уравнения состояния вещества", (Эльбрус, 1-6 марта 2002)
Выходные данные : Эльбрус, 2002
Колич.характеристики :191 с.
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-901675-06-1: 30.00 р.
ББК : 537.5я431(0) + 541.123я431(0)
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ-- ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
Экземпляры : всего : кх(2), бр.ф.(1)
Свободны : кх(2), бр.ф.(1)
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика