Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   А 17


    Абсорбционная ИК-спектроскопия как метод измерения содержания однослойных углеродных нанотрубок в углеродных наноматериалах / Ю. Р. Бакиева, Г. И. Зверева, М. Г. Спирин, А. В. Крестинин // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т.8, № 5-6. - С. 78-85 : рис., табл. - Библиогр.: с. 85 (7 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОТРУБКИ -- НАНОТРУБКИ ОДНОСЛОЙНЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ -- ИК-СПЕКТРОСКОПИЯ АбСОРБЦИОННАЯ -- НАНОМАТЕРИАЛЫ -- МЕТОД ИК-ПОГЛОЩЕНИЯ -- ОСУНТ -- ик-СИГНАЛ ПОГЛОЩЕНИЯ -- ДИСПЕРСИЯ -- МИКРОКРИСТАЛЛЫ -- ИК-ИЗМЕРЕНИЯ -- КОЭФФИЦИЕНТ ЭКСТИНКЦИИ
Аннотация: Метод ИК-поглощения можно применять для измерения содержания однослойных углеродных нанотрубок (ОСУНТ) в наноматериале (порошок, паста), если выполнены следующие условия: а) во-первых, измеряемый ИК-сигнал поглощения пропорционален концентрации нанотрубок в приготовленной для измерений дисперсии материала в подходящей жидкости и б) во-вторых, в дисперсиях тестируемого образца и выбранного эталона тождественны все другие характеризующие нанотрубки параметры, к которым чувствительна величина ИК-поглощения в полосе S22, а именно: (i) распределение по диаметру нанотрубок; (ii) cоотношение между нанотрубками полупроводникового и металлического типа; (iii) степень агрегации нанотрубок в структуры типа тяжей (пучков); (iv) степень ковалентной функционализации нанотрубок. Представлены данные, показывающие, что в дисперсии нанотрубок заданной концентрации коэффициент экстинкции в ближней ИК-области увеличивается с ростом поперечного размера поглощающих элементов – диаметра нанотрубок и их тяжей. Предложена методика измерений содержания ОСУНТ в материалах очищенных нанотрубок электродугового синтеза с высокой степенью агрегации нанотрубок в микрокристаллы и тяжи. Методика основана на специальном способе приготовления дисперсии наноматериала для ИК-измерений и позволяет получить нанотрубки в дисперсии с существенно более низкой степенью агрегации, чем в исходном образце, и которая слабо зависит от степени агрегации нанотрубок в исходном тестируемом образце

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   А 44


    Акустометрия нанодисперсной фазы магнитной жидкости / В. М. Полунин [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 2. - С. 64-68 : рис., табл. - Библиогр. : с. 68 (7 назв.) . - ISSN 1816-4498

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЖИДКОСТЬ МАГНИТНАЯ НАНОДИСПЕРСНАЯ -- АКУСТОМЕТРИЯ -- МОДЕЛЬ КОНЦЕНТРАЦИОННАЯ
Аннотация: В работе предложена акустическая методика измерения физических параметров магнитных наночастиц дисперсной фазы магнитной жидкости. Теоретической основой методики является концентрационная модель акустомагнитного эффекта, сущность которой раскрывается путем детализации взаимодействия физических полей (акустического, магнитного и теплового). Результаты акустометрии исследуемого образца магнитной жидкости находятся в удовлетворительном согласии с данными магнитогранулометрического анализа

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   А 44


    Акустометрия нанодисперсной фазы магнитной жидкости / В. М. Полунин, А. М. Стороженко, П. А. Ряполов, А. О. Танцюра, А. Г. Беседин // Нанотехника. - 2012. - № 4. - С. 12-17 : табл. - Библиогр.: с. 17 (7 назв.) . - ISSN 1816-4498

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЖИДКОСТЬ -- ФАЗЫ МАГНИТНОЙ ЖИДКОСТИ -- ЖИДКОСТЬ НАНОДИСПЕРСНАЯ МАГНИТНАЯ -- АКУСТОМЕТРИЯ -- НАНОЧАСТИЦЫ МАГНИТНЫЕ -- АНАЛИЗ МАГНИТОГРАНУЛОМЕТРИЧЕСКИЙ
Аннотация: В работе предложена акустическая методика измерения физических параметров магнитных наночастиц дисперсной фазы магнитной жидкости. Теоретической основой методики является концентрационная модель акустомагнитного эффекта, сущность которой раскрывается путем детализации взаимодействия физических полей (акустического, магнитного и теплового). Результаты акустометрии исследуемого образца магнитной жидкости находятся в удовлетворительном согласии с данными магнитогранулометрического анализа

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   А 91

    Асташенкова, О. Н.
    Контроль физико-механических параметров тонких пленок / О. Н. Асташенкова, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 24-29 : рис. - Библиогр.: с. 29 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЕМБРАНЫ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОДУЛЬ ЮНГА -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ -- СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК -- СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ
Аннотация: Представлена методика измерения и расчета сжимающих и растягивающих внутренних механических напряжений и модуля Юнга в однослойных и композиционных мембранных структурах на основе тонких пленок различных материалов. Приведены результаты измерения механических напряжений и модуля Юнга пленок различных материалов

Найти похожие

Инвентарный номер: 212331 - кх.
   648.4
   А 94

    Афонский, А. А.
    Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике [] : монография / А. А. Афонский, В. П. Дьяконов ; под ред. В. П. Дьяконова. - М. : ДМК Пресс, 2011. - 687, [1] с. - Библиогр.: с. 679-688. - ISBN 978-5-94074-626-3 : 892.65 р.

ГРНТИ

ББК 648.441
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 28

    Батурин, А. С.
    Измерение емкости квазистатическим методом в атомно-силовом микроскопе / А. С. Батурин, А. А. Чуприк // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 2-7 : рис., табл. - Библиогр. : с. 7 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АСМ -- ЕМКОСТЬ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫЕ -- НАНОМЕТРОЛОГИЯ
Аннотация: Рассмотрен квазистатический метод одновременного измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик с помощью атомно-силового микроскопа. Выполнен систематический анализ источников погрешности измерения емкости микроструктур. Показана возможность измерения емкости в диапазоне 10...500 пФ с погрешностью менее 3 % и с высоким пространственным разрешением

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белкин, Л. М.
    Бесструктурная модель поверхностно излучающего лазера с полосой модуляции в свч диапазоне / Л. М. Белкин, М. Е. Белкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 9-17 : рис., табл. - Библиогр. : с. 17 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МОДЕЛЬ БЕССТРУКТУРНАЯ -- ЛАЗЕР ПВЕРХНОСТНО ИЗЛУЧАЮЩИЙ -- РЕЗОНАТОР ВЕРТИКАЛЬНЫЙ -- VCSEL -- ИСКАЖЕНИЯ ИНТЕРМОДУЛЯЦИОННЫЕ
Аннотация: Предложена бесструктурная (в виде эквивалентной электрической схемы) нелинейная модель поверхностно излучающего лазера с вертикальным резонатором (VCSEL), пригодная для разработчиков аппаратуры современных сверхскоростных цифровых и аналоговых ВОСП с полосой поднесущих в СВЧ диапазоне, локальных телекоммуникационных систем волоконно-эфирной структуры, устройств СВЧ оптоэлектроники, а также оптических межсоединений в ИМС. Исходными данными для разработки модели служат результаты измерения статической и динамической характеристик электрооптического преобразования и характеристики отражения по модулирующему входу испытуемого образца. Описывается методика экстракции параметров его эквивалентной схемы с помощью высокоразвитой электронной САПР. Приводятся результаты моделирования и измерения интермодуляционных искажений третьего и пятого порядков длинноволнового VCSEL сплавной конструкции с полосой модуляции в СВЧ диапазоне. Оценивается уровень линейности испытуемого типа VCSEL передаче аналоговых СВЧ сигналов

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белкин, М. Е.
    Исследование характеристики времени задержки включения поверхностно-излучающего лазера с вертикальным резонатором / М. Е. Белкин, Л. М. Белкин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 51-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЛАЗЕР ПОВЕРХНОСТНО-ИЗЛУЧАЮЩИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ -- РЕЗОНАТОР ВЕРТИКАЛЬНЫЙ -- ИЗМЕРЕНИЕ ВРЕМЕНИ ЗАДЕРЖКИ ВКЛЮЧЕНИЯ
Аннотация: Предложен простой метод измерения характеристики задержки включения полупроводникового лазера с прямой модуляцией током инжекции, основанный на сравнении с помощью цифрового осциллографа задержки фронтов импульсов на входе испытуемого образца и на выходе измерительного фотодиода после электрооптического и оптико-электрического преобразований. Описываются методика, технология и результаты измерения времени задержки включения поверхностно-излучающего лазера с вертикальным каналом (VCSEL). Проводится оценка точности измерений

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белкин, М. Е.
    Оптоэлектронный генератор свч сигналов: моделирование, исследование спектральных и шумовых характеристик / М. Е. Белкин, А. В. Лопарев // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 29-33 : рис., табл. - Библиогр. : с. 33 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ШУМЫ ЧАСТОТНЫЕ -- ГЕНЕРАТОР ОПТОЭЛЕКТРОННЫЙ СВЧ СИГНАЛОВ -- ОПТОЭЛЕКТРОНИКА СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ
Аннотация: Рассматриваются схема построения и принцип функционирования оптоэлектронного генератора (ОЭГ) СВЧ диапазона, в котором сочетаются относительно низкие фазовые шумы и широкая полоса перестройки частоты генерации. Приводятся результаты разработки объектно-ориентированной модели оптоэлектронного генератора с помощью оптоэлектронной САПР VРI-transmission Maker™ и результаты моделирования его спектральных и шумовых характеристик. Описаны макет ОЭГ, перестраиваемый в полосе 2,5...15 ГГц, и результаты измерения с его помощью указанных параметров, подтверждающие корректность предложенной модели. Проводится сравнение с различными генераторами СВЧ диапазона в интегральном исполнении, построенными по традиционной схеме

Найти похожие

10.

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белозубов, Е. М.
    Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДЕФОРМАЦИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- НИМЭМС
Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов

Найти похожие

11.

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белозубов, Е. М.
    Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ

Найти похожие

12.

Инвентарный номер: нет.

   Б 43

    Белозубов, Е. М.
    Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, Ю. А. Козлова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ВИБРОУСКОРЕНИЯ -- ВЫВОДНОЙ ПРОВОДНИК -- КОНТАКТНАЯ ПЛОЩАДКА -- ЭЛЕКТРОД -- ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ

Найти похожие

13.

Инвентарный номер: нет.

   Б 68

    Благов, Е. В.
    Магниторезистивный преобразователь для датчиков тока / Е. В. Благов, В. В. Амеличев, Д. В. Костюк // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 22-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ТОКА -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ
Аннотация: Рассмотрены основные типы преобразователей магнитного поля, применяемые в современных датчиках тока. Представлены результаты измерения основных электрофизических характеристик магниторезистивного преобразователя с проводником управления. На основе результатов исследования макета магниторезистивного преобразователя для датчиков тока приведена оценка возможности измерения с его помощью токов силой до 60 А

Найти похожие

14.

Инвентарный номер: нет.

   Б 79


    Болометр с термочувствительным слоем из оксида ванадия VO x // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 5-6. - С. 44-52 : рис., табл. - Библиогр.: с. 52 (13 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ВОЛЬТОВАЯ -- СПОСОБНОСТЬ БОЛОМЕТРОВ ОБНАРУЖИТЕЛЬНАЯ -- БОЛОМЕТР -- ОКСИД ВАНАДИЯ
Аннотация: Исследованы электрические параметры термочувствительного слоя болометра VO x и морфология его поверхности. Определена относительная погрешность измерения, вносимая оксидным слоем VO x. Представлены расчетные и экспериментальные данные нагрева слоя VO x на 1 и 200 °С в диапазонах длин волн 0.5—3.39 мкм и 5.0—12 мкм в зависимости от длительности импульса излучения в диапазоне 1 — 10 -9 с на различных подложках. Исследованы зависимости: постоянной времени, вольтовой чувствительности болометра от размера приемной площадки и материала подложки. Рассчитаны: постоянная времени болометра, вольтовая чувствительность и эквивалентные значения напряжений фундаментальных шумов в зависимости от размеров приемной площадки, материалов подложки и частоты регистрируемого излучения. Приведены значения удельного теплового потока и обнаружительной способности болометров на частотах 1, 10, 20 Гц, выполненных на различных диэлектрических подложках. Описана модульная конструкция болометра, включающая герметичный корпус с приемным окном и преобразователь сопротивление-напряжение. Приведены зависимости напряжения с выхода болометра от величины воздействующего постоянного и импульсного излучения

Найти похожие

15.

Инвентарный номер: нет.

   В 18

    Вареник, Ю. А.
    Формирование тестового воздействия дая измерения вольт-фарадных характеристик / Ю. А. Вареник, Р. М. Печерская // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 17-19 : рис. - Библиогр. : с.19 (3 наим.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫЕ -- СТРУКТУРЫ-МДП -- СТРУКТУРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ
Аннотация: Рассмотрены вопросы формирования тестового воздействия на микро- и нанополупроводниковые структуры при измерении вольт-фарадных характеристик (ВФХ). Предложена необычная схема формирователя тест-сигнала на основе принципа мостового включения генераторов и нагрузки. Описан разработанный измерительный модуль на основе предложенной схемы

Найти похожие

16.

Инвентарный номер: нет.

   В 58


    Влияние условий электрохимического осаждения на свойства нанокристаллических пленок CuInSe2 / С. И. Бочарова, М. В. Гапанович, Д. Н. Войлов, И. Н. Один, Г. Ф. Новиков // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 16-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (13 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОЧАСТИЦЫ -- ПЛЕНКИ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ CUiNSE2 -- СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК -- РАСТВОРЫ ЭТАНОЛЬНЫЕ -- СВОЙСТВА ОПТИЧЕСКИЕ -- АДГЕЗИЯ ПЛЕНОК -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- ОБЛАСТЬ КОГЕРЕНТНОГО РАССЕЯНИЯ (ОКР) -- ПЛЕНКИ СИНТЕЗИРОВАННЫЕ ОДНОФАЗНЫЕ -- АСМ -- АНАЛИЗ РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ
Аннотация: Исследовано влияние потенциалов и времени электрохимического осаждения из этанольных растворов на фазовый состав, структуру, оптические свойства и адгезию нанокристаллических пленок CuInSe2 (CIS). На основании данных рентгенофазового анализа (РФА) и атомно-силовой микроскопии (АСМ) установлена область потенциалов, в которой происходит образование однофазных пленок CIS. В этой области наблюдалась наилучшая адгезия пленок к подложке стекло/Mo. Размер области когерентного рассеяния (ОКР) определен по данным РФА как 6 нм. Измерения АСМ показали, что пленки состоят из конгломератов (~200 нм) наночастиц, размер которых (<10 нм) зависит от времени и потенциала осаждения. Ширина запрещенной зоны синтезированных однофазных пленок оценена по спектрам оптического поглощения как 1.5 эВ

Найти похожие

17.

Инвентарный номер: нет.
   62
   Г 72ГОСТ 8.593-2009


    Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика проверки [] : ГОСТ 8.593-2009 : межгос. стандарт / Межгосударственный совет по стандартизации, метрологии и сертификации (МГС). - Офиц. изд. - Введ. с 11.11.2009. - М. : Стандартинформ, 2010. - 7 с. -

ГРНТИ

90.03.37

ББК 62я861 + 621.0я861
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--ТЕХНИКА И ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ В ЦЕЛОМ--СТАНДАРТЫ

Найти похожие

18.

Инвентарный номер: нет.

   Е 30

    Егоров, В. В.
    Измерение сдвига в нано- и микроструктурированных средах / В. В. Егоров // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 3. - С. 51-54. - Библиогр. : с.54 ( 3 наим.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СДВИГ -- ПОЛЕ -- СИГНАЛ -- АЛГОРИТМ
Аннотация: Получены алгоритмы измерения сдвига в нано- и микроструктурированных средах

Найти похожие

19.

Инвентарный номер: нет.

   Е 30

    Егоров, Г. П.
    Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ / Г. П. Егоров, А. А. Волков, А. Л. Устюжанинов // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78 : табл., рис. - Библиогр. : с. 78 (11 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПЛЕНКИ IN-SITU -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕНИЙ -- ПЛАСТИНА КОНСОЛЬНО ЗАКРЕПЛЕННАЯ
Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ

Найти похожие

20.

Инвентарный номер: нет.

   И 88


    Использование методов фрактальной геометрии для анализа морфологических свойств и управления качеством получаемого информационного массива по результатам измерений наноразмерных объектов с использованием атомно-силового микроскопа / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 8-13 : рис. - Библиогр. : с. 13 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- РАЗМЕРНОСТЬ ФРАКТАЛЬНАЯ -- МЕТОД ФРАКТАЛЬНОЙ ГЕОМЕТРИИ -- АСМ-ИЗМЕРЕНИЯ
Аннотация: Методы атомно-силовой микроскопии (АСМ) получают все большее распространение в задачах исследования нанообъектов и наноструктур. Используемые подходы позволяют получать с высоким разрешением карту свойств поверхности. Для многих измерений принципиален вопрос об избыточности проводимых измерений и возможности управлением качеством получаемой информации. На основе методов фрактальной геометрии на примере одномерных зависимостей предложены методы управления качеством и точностью получаемого информационного массива на основе АСМ-измерений

Найти похожие

1-20 21-40 41-59

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)