Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   С 58


    Создание монокристальных нанопроводов из кремния с использованием облучения ионами малых энергий / Б. А. Гурович, К. Е. Приходько, Д. А. Комаров, А. Н. Талденков // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 3-4. - С. 49-53 : рис. - Библиогр.: с. 53 (5 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПРОВОДА -- КРЕМНИЙ -- МОНОКРИСТАЛЬНОСТЬ -- ИЗОЛЯЦИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ОБЛУЧЕНИЕ ПЛАЗМЕННОЕ
Аннотация: В работе предложен способ создания монокристальных кремниевых нанопроводов на поверхности кремниевой пластины путем формирования специально созданных протяженных структур с отрицательным углом наклона боковых стенок и последующего их окисления под действием облучения ионами кислорода малых энергий при температуре 400 °C. Форма и размеры структур подбирались таким образом, чтобы, во-первых, в процессе окисления центральная часть нанопровода не подвергалась модификации, сохраняя монокристальность и уровень легирования исходного кремния, а во-вторых, чтобы обеспечить электрическую изоляцию нанопровода от пластины. Исследована зависимость глубины окисления от температуры и длительности плазменного облучения, а также электрические свойства сформированного оксида

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   С 72

    Спирин, В. Г.
    Конструкция и технология многоуровневой платы с полимерной изоляцией / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 24-29 : рис., табл. - Библиогр.: с. 29 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.3.049.776

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСБОРКА -- МНОГОУРОВНЕВАЯ ПЛАТА -- ТОЛСТОПЛЕНОЧНАЯ ПОЛИМЕРНАЯ ИЗОЛЯЦИЯ
Аннотация: Разработаны три конструктивно-технологических варианта многоуровневых плат с изоляцией проводящих уровней толстой пленкой органического диэлектрика. В качестве альтернативы межуровневых переходов выдвинута идея соединения выводов компонентов к контактным площадкам разных уровней коммутации, в том числе и расположенных на межуровневой изоляции. Данное решение повышает надежность, плотность проводников и снижает трудоемкость изготовления плат

Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)