Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   В 35

    Вернер, В. Д.
    Принципы конструирования биполярных СВЧ структур с предельно узкими эмиттерными областями / В. Д. Вернер, Н. М. Луканов, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 13-16 : рис. - Библиогр. : с. 16 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУКТИВНЫЕ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ -- СВЧ САМОСОВМЕЩЕННЫЕ И ПОЛНОСТЬЮ САМОСОВМЕЩЕННЫЕ ТРАНЗИСТОРНЫЕ СТРУКТУРЫ -- РЕЛЬЕФ ОПОРНЫЙ САМОФОРМИРОВАНИЯ ДЛЯ ВСЕЙ СТРУКТУРЫ -- КРЕМНИЙ -- ИС РАДИОЧАСТОТНЫЕ С РАБОЧЕЙ ЧАСТОТОЙ 10-160 ггЦ,
Аннотация: Приведены конструктивные и технологические особенности формирования биполярных СВЧ самосовмещенных и полностью самосовмещенных транзисторных структур на кремнии. Эти структуры с предельно узкими эмиттерными областями предназначены для создания монолитных малошумящих широкополосных усилителей и радиочастотных ИС с рабочей частотой 10...160 ГГц. Разработан новый метод осаждения (или селективного наращивания) и анизотропного травления различных слоев с использованием исходной одной (вертикальной или наклонной) плоскости, задающей опорный рельеф самоформирования для всей структуры

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Д 20


    Датчики внешних воздействий с частотным выходом на основе полевого МДПДМ-транзистора со встроенным каналом / М. Л. Бараночников, А. В. Леонов, А. А. Малых, В. Н. Мордкович, В. Н. Мурашев, Д. М. Пажин // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 8-11. - Библиогр.: с. 11 (8 назв.) . -

УДК

621.317

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК -- ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ-ЧАСТОТА -- КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ
Аннотация: Показано, что полевой транзистор со встроенным каналом и управляющей системой типа металл — диэлектрик — полупроводник — диэлектрик — металл может функционировать как чувствительный элемент датчиков внешних воздействий (таких как магнитное поле, температура, радиация), преобразующих воздействия в цифровой сигнал. Датчик основан на принципе изменения частоты автогенератора, в схему которого в качестве нагрузки, изменяющейся при внешних воздействиях, включен упомянутый транзистор. В качестве основы автогенератора может быть использована как специальная ИС, так и эффект самовозбуждения в чувствительном элементе, благодаря особенностям его ВАХ на участке лавинного умножения. Датчики изготовлены по технологии кремний-на-изоляторе

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   С 34

    Сивченко, А. С.
    Методики анализа основных характеристик надежности в КМОП ИС с помощью тестовых структур в составе пластин / А. С. Сивченко, Е. В. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 7-9 : граф. - Библиогр.: с. 9 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.3.049.77

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАДЕЖНОСТЬ -- ДЕФЕКТНОСТЬ -- ОТКАЗ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ИС -- ГОРЯЧИЕ НОСИТЕЛИ
Аннотация: Представлены методики, позволяющие с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин определять время наработки до отказа линии металлизации и деградацию параметров МОП-транзисторов под действием горячих носителей. Также в работе представлена методика, позволяющая определять дефектность подзатворного диэлектрика

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Т 38


    Технология формирования интегральной микрофлюидной КМОП-системы с нанопроволочными чувствительными элементами / О. В. Чуйко, Е. В. Кузнецов, М. И. Савельев, Н. В. Комарова, М. С. Сироткина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 23-25. - Библиогр.: с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.3.049.77

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- МИКРОФЛЮИДНАЯ СИСТЕМА -- СИСТЕМА "LAB ON CHIP" -- КОРПУСИРОВАНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ
Аннотация: Представлен технологический маршрут изготовления микросистемы, объединяющей в себе интегральное изготовление нанопроволочного ISFET-биосенсора, совмещенного с КМОП-технологией, и микрофлюидной системы на этапе корпусирования и герметизации ИС

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   П 44


    Подходы к разделению кристаллов стековых сборок при анализе отказов многокристальных интегральных схем / Г. В. Молодцова, Р. А. Милованов, Д. Н. Зубов, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 22-24 : табл., рис. - Библиогр.: с. 24 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.3.049.77

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АНАЛИЗ ОТКАЗОВ -- 3D PACKAGE -- МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ (ИС) -- РАЗДЕЛЕНИЕ КРИСТАЛЛОВ
Аннотация: При анализе отказов современных многокристальных ИС типа 3D package, возникает необходимость обеспечения доступа к каждому кристаллу стековой сборки. В работе рассмотрены подходы к разделению кристаллов на основе длительного воздействия дымящей азотной кислоты и циклического изменения температуры образца. Проведенные для flash-накопителя 32 Гбайт экспериментальные исследования показали возможность применения указанных подходов для получения доступа к каждому кристаллу стековой сборки

Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)