Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   Н 41

    Негров, Д. В.
    Элемент дисплейной матрицы на основе автоэмиссионного катода из терморасширенного графита / Д. В. Негров, А. С. Лейченко, Е. П. Шешин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 50-52 : рис. - Библиогр. : с.52 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭМИССИЯ АВТОЭЛЕКТРОННАЯ -- ОПТИКА ЭЛЕКТРОННАЯ -- МАТЕРИАЛЫ УГЛЕРОДНЫЕ
Аннотация: Рассматривается автоэмиссионный катод латеральной конструкции из терморасширенного графита в качестве источника свободных электронов для катодо-люминесцентного прибора. За счет изменения конструкции электронно-оптической системы достигается значительное увеличение активной площади катода на единицу его геометрической площади. Проводится моделирование электронно-оптической системы

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Э 45


    Электростатический МЭМС-ключ на структуре кремний—стекло / В. В. Платонов, С. С. Генералов, В. И. Смехова, В. В. Амеличев, С. А. Поломошнов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 43-47 : рис. - Библиогр.: с. . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ИМЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ -- МЭМС-КЛЮЧ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ -- СТРУКТУРА КРЕМНИЙ—СТЕКЛО -- НАПРЯЖЕНИЕ РАБОЧЕЕ
Аннотация: Рассмотрены основные преимущества МЭМС-переключателей. Приведены результаты реализации конструкции кремний—стекло с балочным креплением подвижных электродов, не имеющей в технологии изготовления операцию удаления жертвенного слоя. Представлены основные результаты исследования разработанных МЭМС-ключей

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Электростатические микрокоммутаторы. Часть 3. Переключающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 1. - С. 45-51. - Библиогр.: с. 51 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.382.049.77+531:546.621-31

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ПЕРЕКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ И ТОРСИОННАЯ КОНСТРУКЦИИ -- МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКТЮАТОРЫ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЁТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ -- ПРИМЕРЫ КОНСТРУКЦИЙ
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров переключающих микрокоммутаторов плоскопараллельной и торсионной конструкций. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров. Приведены примеры конструкций

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Электростатические микрокоммутаторы. Часть 2. торсионные включаюшие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 39-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.382.049.77 + 531:546.621-31

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ТОРСИОННАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКТЮАТОРЫ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЁТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ
Аннотация: Проведены расчеты параметров включающих микрокоммутаторов торсионной конструкции. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Электростатические микрокоммутаторы. Часть 1. Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 10. - С. 42-48. - Библиогр.: с. 48 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.382.049.77 + 531:546.621-31

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЕТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Применена методика расчета с учетом равенства активных электростатических и реактивных механических сил с разделением в рабочем цикле параметров на постоянные (конструктивная константа) и переменные (базовая функция) составляющие. Получены формулы эффективного вычисления основных параметров

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Е 78

    Ерошкин, П. А.
    Электронная пушка с автоэмиссионным катодом для вакуумных приборов / П. А. Ерошкин, Е. П. Шешин // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 1. - С. 42-44. - Библиогр.: с. 44 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

537.533.2

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АВТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ -- НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- УГЛЕРОДНЫЕ ВОЛОКНА
Аннотация: Предложена конструкция электронной пушки с автоэмиссионным катодом на основе остеклованного пучка полиакрилонитрильных углеродных волокон для катодолюминесцентных приборов. Доведено моделирование электронной системы и выявлены оптимальные параметры конструкции. Рассмотрены области применения разработанного источника свободных электронов

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   К 17

    Калюжный, Д. Г.
    Электрогидравлический манипулятор микроперемещений / Д. Г. Калюжный // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 91-93 : рис. - Библиогр. : с. 93 (4 назв.) . - ISSN 1816-4498

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МАНИПУЛЯТОР -- СКАНИРОВАНИЕ -- МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЕ -- НАНОПЛЕНКА -- НАПЫЛЕНИЕ -- ПРИВОД ГИДРАВЛИЧЕСКИЙ
Аннотация: Разработано устройство, позволяющее производить дистанционное микроперемещение объектов. В основу разработки положено оптико-механическое устройство сканирования. Универсальный способ перемещения объектов позволяет изменять полный ход перемещения в широких пределах, сохраняя при этом минимальный шаг. В предложенной конструкции полный ход превышает 6 мм, минимальный шаг 0,0025 мм

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ
Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами.

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   У 59


    Универсальный информационно-измерительный комплекс для определения характеристик пьезогенераторов и пьезоактуаторов / Е. В. Рожков, В. А. Акопьян, И. А. Паринов, Ю. Н. Захаров, А. А. Панич, А. И. Сокало , С. Н. Шевцов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 8. - С. 46-54 : табл., рис. - Библиогр.: с. 54 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЬЕЗОГЕНЕРАТОРЫ -- ПЬЕЗОАКТУАТОРЫ -- КОМПЛЕКС ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ -- ПЭГ -- ПЭА -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВЫХОДНЫЕ -- КАНТИЛЕВЕР -- ПЭА МНОГОСЛОЙНЫЙ
Аннотация: Представлено описание конструкции оригинального универсального информационно-измерительного комплекса для натурного моделирования характеристик пьезогенераторов (ПЭГ) и пьезоактуаторов (ПЭА). Также описана методика измерения и расчета их выходных параметров. Приведены результаты исследований характеристик многослойного ПЭА кантилеверного типа для активного гашения вибраций интеллектуальной лопасти вертолета и ПЭГ средней мощности, предназначенного для преобразования механической энергии в электрическую и накопления последней

Найти похожие

10.

Инвентарный номер: нет.

   Т 38


    Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ
Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия

Найти похожие

11.

Инвентарный номер: нет.

   М 92

    Мухуров, Н. И.
    Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ
Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции

Найти похожие

12.

Инвентарный номер: нет.

   Е 80

    Ершова, Е. В.
    Твердотельные солнечные батареи / Е. В. Ершова, К. Г. Овакимян, Д. В. Григорьев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 41-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БАТАРЕИ СОЛНЕЧНЫЕ ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- КОНЦЕНТРАТОРЫ -- ЛИНЗА фРЕНЕЛЯ
Аннотация: Обобщаются лучшие в России результаты по высокоэффективному преобразованию энергии Солнца твердотельными гетероэпитаксиальными полупроводниковыми элементами. КПД таких батарей стабильно превышает 35 %, и видны пути его повышения. Рассмотрены и структура фотоэлемента, и конструкции солнечных ячеек, и контроль качества, а также выводы и перспективы развития солнечных модулей

Найти похожие

13.

Инвентарный номер: нет.

   С 56


    Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций

Найти похожие

14.

Инвентарный номер: нет.

   С 40


    Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции / В. П. Михайлов, А. М. Базиненков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 45-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СИСТЕМЫ ПОЗИЦИОНИРУЮЩИЕ И ВИБРОИЗОЛИРУЮЩИЕ -- ВЯЗКОСТЬ -- ЖИДКОСТИ МАГНИТО -И ЭЛЕКТРОРЕОЛОГИЧЕСКИЕ
Аннотация: Современное прецизионное оборудование для электронных и машиностроительных технологий использует многокоординатные системы для сверхточного позиционирования. Представлены анализ, конструкции и параметры новых магнитореологических (МР), электрореологических (ЭР) и магнитореологических эластомерных (МЭ) позиционирующих устройств. Комбинация МР или ЭР замкнутого управления, упругих направляющих и тонкостенных герметизирующих элементов обеспечивает малую погрешность линейного (?100 нм) и углового (? 0,2") позиционирования, малую постоянную времени (? 200 мс), диапазон линейных перемещений по трем координатам X, Y, Z (1...10) мм и передаваемое усилие (1...1000) Н

Найти похожие

15.

Инвентарный номер: нет.

   О-53

    Олейник, А. С.
    Регистрация лазерного излучения пленочными реверсивными средами на основе диоксида ванадия / А. С. Олейник, А. В. Федоров // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 5-6. - С. 120-129 : рис., табл. - Библиогр. : с. 129 (22 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДИОКСИД ВАНАДИЯ -- СРЕДЫ ПЛЕНОЧНЫЕ РЕВЕРСИВНЫЕ -- ИЗЛУЧЕНИЕ ЛАЗЕРНОЕ
Аннотация: В статье описаны пленочные реверсивные среды на основе диоксида ванадия Al-VO2-Д (диэлектрик) и VO2-Д (диэлектрик), реализующие изменение соответственно оптических и электрических свойств при фотоиндуцированном фазовом переходе полупроводник-металл (ФППМ). Среды получены путем окисления на воздухе напыленных в вакууме пленок ванадия. Приведены оптические, светотехнические параметры, а также разрешающая способность, дифракционная эффективность, энергетическая чувствительность среды Al-VO2-Д в зави- симости от характера лазерного излучения и указаны области ее применения (знакосинтезирующие индикаторы, визуализатор излучения, голографический транспарант). Определен термический гистерезис ФППМ в средах (величина скачка сопротивления, ширина петли гистерезиса) в зависимости от вариации технологии изготовления. Показано применение среды VO2-Д в качестве термочувствительного слоя теплового приемника излучения. Определена постоянная времени приемника, его чувствительность и фундаментальные шумы, ограничивающие чувствительность приемника. Приведены конструкции тепловых приемников излучения

Найти похожие

16.

Инвентарный номер: нет.

   Р 17


    Разработка многослойного полимерного композиционного материала с дискретным конструктивно-ортотропным заполнителем / Ю. И. Димитриенко, С. В. Сборщиков, А. А. Прозоровский, Е. А. Губарева, Н. О. Яковлев, В. С. Ерасов, В. Д. Крылов, М. М. Григорьев, Н. Н. Федонюк // Композиты и наноструктуры. - 2014. - Т. 6, № 1. - С. 32-48 : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 47-48 (17 назв.) . - ISSN 1999-7590

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПОЛИМЕРНЫЙ КОМПОЗИЦИОННЫЙ МАТЕРИАЛ КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ДИСКРЕТНЫЙ КОНСТРУКТИВНО-ОРТОТРОПНЫЙ ЗАПОЛНИТЕЛЬ -- СОТОВЫЕ КОНСТРУКЦИИ -- ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ -- ЧЕТЫРЁХТОЧЕЧНЫЙ ИЗГИБ
Аннотация: Разработана технология изготовления многослойного полимерного композиционного материала с дискретным конструктивно-ортотропным заполнителем сотового типа на основе модифицированного винилэфирного связующего, с использованием метода инфузии. Определены физико-механические свойства полимерной матрицы, сотового заполнителя, обшивок из стеклопластика, а также панелей из разработанного трехслойного сотового материала. Проведено компьютерное моделирование напряженно-деформированного состояния панели из трехслойного сотового материала при четырёхточечном изгибе, которое показало, что прочностные характеристики материала при изгибе существенным образом зависят от геометрических размеров панелей, что было подтверждено результатами испытаний. Разработанная компьютерная модель позволяет прогнозировать упруго-прочностные характеристики многослойного полимерного композиционного материала с дискретным конструктивно-ортотропным заполнителем сотового типа

Найти похожие

17.

Инвентарный номер: нет.

   Р 17


    Разработка математического описания кольцевого микрогироскопа / С. П. Тимошенков, С. А. Анчутин, В. Е. Плеханов, Е. С. Кочурина, А. С. Тимошенков, Е. В. Зуев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 18-25 : граф., рис. - Библиогр.: с. 25 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.382-027.31

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ -- КОЛЬЦЕВОЙ МИКРОГИРОСКОП -- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ -- ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Аннотация: Приведено описание конструкции и принцип работы чувствительного элемента кольцевого микрогироскопа. Разработана математическая модель чувствительного элемента и рассмотрены особенности магнитоэлектрической системы возбуждения колебаний кольцевого микрогироскопа. Представлены результаты численного моделирования кольцевого микрогироскопа, работающего в режиме идеализированного датчика угловой скорости

Найти похожие

18.

Инвентарный номер: нет.

   А 35

    Азаров, А. В.
    Проектирование и изготовление композитного бака высокого давления для космического аппарата / А. В. Азаров, А. А. Бабичев, Ф. К. Синьковский // Композиты и наноструктуры. - 2013. - № 4. - С. 44-57 : граф., рис. - Библиогр.: с. 57 (2 назв.) . - ISSN 1999-7590

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БАЛЛОНЫ ДАВЛЕНИЯ -- КОМПОЗИТЫ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
Аннотация: Статья посвящена расчету, проектированию и технологии изготовления композитного бака, высокого давления, предназначенного для хранения ксенона для системы коррекции космического аппарата. Предложена конструкция крепления бака к композитному несущему корпусу космического аппарата сетчатой конструкции [1]. Представлен расчет бака и соединительного отсека методом конечных элементов в нелинейной постановке, приведены результаты испытаний

Найти похожие

19.

Инвентарный номер: нет.

   Г 59

    Годовицын, И. В.
    Перспективная конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления / И. В. Годовицын // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 2-8 : рис., табл. - Библиогр. : с. 8 (32 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПРЕОбРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ
Аннотация: Предлагается конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления на КНИ-структуре. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из полиметаллического кремния, что позволяет совместить в конструкции достоинства традиционных и миниатюрных преобразователей давления - высокую чувствительность и маленькие габаритные размеры. Доведен расчет основных параметров преобразователя с помощью конечно-элементного моделирования. Доведен анализ параметров предложенного преобразователя в сравнении с преобразователями других типов

Найти похожие

20.

Инвентарный номер: нет.

   К 17

    Калинин, В. А.
    Пассивные датчики температуры на поверхностных акустических волнах для систем контроля состояния контактных групп высоковольтного оборудования / В. А. Калинин, В. В. Чащин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 10. - С. 42-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ ТЕМПЕРАТУРЫ -- МИКРОСИСТЕМОТЕХНИКА -- ЛАНГАСИТ -- ДАТЧИКИ АКУСТОЭЛЕКТРОННЫЕ -- ДАТЧИКИ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ -- ДАТЧИКИ ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЕ
Аннотация: Представлены результаты работ по созданию пассивных беспроводных датчиков температуры на поверхностных акустических волнах. Обоснована актуальность разработки. Описан принцип действия разрабатываемых датчиков. Приведены основные характеристики датчиков, результаты разработки конструкции термочувствительных элементов и преобразователей температуры, результаты испытаний. Обозначены приоритетные работы для последующих этапов разработки

Найти похожие

1-20 21-40 41-51

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)