Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 56
Автор(ы) : Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А.
Заглавие : Современные тенденции развития микросистемной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемная техника--мэмс--рынок мст--кремниевая технология--темп развития
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 53/У 59
Автор(ы) : Дюжев Н. А., Поправкин А. Н., Шкуропат И. Г., Шокин А. Н., Попков А. Ф.
Заглавие : Универсальный термочувствительный элемент для датчиков газового потока
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 23-25: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 25 (4 назв.)
ББК : 53
Предметные рубрики: ФИЗИКА
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микротермоанемометр--расходометрия--кремниевая технология--датчики расхода газа
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.049.77/К 65
Автор(ы) : Амеличев В. В., Генералов С. С., Якухина А. В., Шаманаев С. В., Платонов В. В.
Заглавие : Конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 28-32. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 32 (8 назв.)
УДК : 621.382.049.77
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевая технология--микромеханический элемент--матрица--мэмс-ключ--металлическая плата--низкоомные электроды--силовая электроника
Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей. Рассмотрены основные конструктивные и технологические особенности создания кристалла МЭМС-ключа с электростатическим способом управления замыканием контактной группы. Определены перспективы применения матрицы силовых микроэлектромеханических ключей для коммутации постоянного и низкочастотного переменного тока в приборах средней мощности
Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)