Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=КРИСТАЛЛ ЧЭ ДАВЛЕНИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 33
Автор(ы) : Землянников Н. С., Данилова Н. Л., Панков В. В., Суханов В. С., Михайлов Ю. А.
Заглавие : Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 32-36: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 36 (8 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мембраны кремниевые--преобразователи давления --преобразователи давления тензорезистивные--кристалл чэ давления--модуль чувствительного элемента давления (чэд)
Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по микроэлектронной технологии на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны преимущества разработанных преобразователей давления в сравнении с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика